Диффузия примесей в кремний
Контрольная работа, 17 Ноября 2013, автор: пользователь скрыл имя
Описание работы
Получить изолирующие области МДП-структур путем диффузии бора в кремний типа КЭФ-0,5 с = 600 Ом/□ и =6 мкм. Определить время диффузии и профиль распределения примеси, выбрав температуру из рекомендуемого диапазона. Определить погрешность сопротивления слоя с шириной 200 мкм и длиной 400 мкм.