Диффузия фосфора в кремний
Практическая работа, 01 Июля 2013, автор: пользователь скрыл имя
Описание работы
Определить температуру загонки и выбрать время разгонки, если , а можно изменять в рекомендуемом диапазоне от 1000 до 1250°С. Проводится диффузия бора в кремний типа КЭФ-0,1 и обеспечивается поверхностное сопротивление 190 Ом/ð и xpn= 2,7 мкм. Построить профиль распределения примеси. Рассчитать погрешность сопротивления слоя при ширине 30 мкм и длине 800 мкм.