Сравнительная характеристика микроскопов различных типов

Данный вид электронной микроскопии (РЭМ) обеспечивает широкие возможности для изучения структуры материалов. Высокая разрешающая способность РЭМ дает возможность его использование для исследования морфологии и кристаллографических особенностей ,как поверхностного слоя , так и приповерхностного слоя полупроводников и металлов, изучения поверхностных покрытий и гетероструктур, исследования дисперсных элементов структуры: частиц второй фазы, ямок травления, пор. Так же , с помощью РЕМ можно изучать процессы коррозии, эрозии и результаты видов внешнего воздействия, например химическое и ионное травление. Растровая электронная микроскопия занимает промежуточное положение между светом и просвечивающим микроскопами. Если говорить о сравнительной характеристике данных методов, то их можно сравнить по разрешающей способности, глубине фокусам и другие.