Автор работы: Пользователь скрыл имя, 17 Декабря 2014 в 07:41, курсовая работа
Цель работы: Определение закономерностей процесса формирования тонких пленок методом катодного распыления.
Задачи:
проведение исследования процесса формирования тонких слоев методом катодного распыления;
изучение влияния ряда факторов на проведение процесса получения ультратонких пленок;
выявление основных преимуществ и недостатков метода;
Введение…………………………………………………………………………...4
Цели и задачи………………………………………………………………….......5
Ионно-плазменные методы получения тонких пленок………….……....6
Сущность метода катодного распыления…………………………...…....8
Режимы катодного распыления…………………………………...14
Конструктивные особенности установки катодного распыления. Триодная схема………………………………………………….…16
Получение пленок методом катодного распыления, последовательность процесса…………………………………………………………….……..17
Характеристики тонких пленок, полученных методом ионного распыления………………………………………………………………..19
Применение тонких пленок, полученных методом катодного распыления………………………………………………………………...20
Достоинства и недостатки метода………………………………………20
Выводы по работе………………………………………………………………..23
Список использованных источников………………………………
8 А.А. Малыгин, А.П. Алехин Основные процессы планарной технологии (оборудование и методы расчета).//Учебное пособие.-СПб.:РТП СПбГТИ(ТУ).-1995.- 16 с.
9 Технология материалов и изделий электронной техники: Лабораторный практикум / Д.Г. Кротова, В.Ю. Дубровин, В.А. Титов, Т.Г. Шикова; ГОУ ВПО Иван. Гос. хим. - технол. ун-т. – Иваново, 2007. 156 с.
10 Коррозия. Справ, изд. Под. ред. Л. Л. Шрайнера. Пер. с англ.— М.: Металлургия, 1981, 632 с.
11 Нанесение защитный покрытий в вакууме / И. Л. Ройх, Л. Н. Колтунова, С. Н. Фодосов. — М. : Машиностроение, 1976. — 367 с.
Информация о работе Установки катодного распыления, триодная схема