Методы химического осаждения из газовой фазы для получения полупроводниковых нанопленок

К нанопленкам (нанопокрытиям) относятся двумерные образцы наноматериалов, которые характеризуются наноразмерной толщиной. В свою очередь, к нанопроволокам (наностержням, нановолокнам, нанонитям) относятся одномерные образцы наноматериалов, которые характеризуются наноразмер-ным диаметром. И нанопленки, и нанопроволоки могут быть подобны по строению объемным образцам наноструктурных материалов, в частности, им может быть присуща нанокристаллическая или нанокомпозиционная структура. Вместе с тем и нанопленки в силу их наноразмерной толщины, и нано-проволоки в силу их наноразмерного диаметра могут значительно отличаться от объемных образцов по свойствам.