Сенсоры механических величин на емкостном принципе преобразования
Реферат, 14 Января 2014, автор: пользователь скрыл имя
Описание работы
Чувствительным элементом любого емкостного сенсора является конденсатор с подвижными обкладками. Прицип действия сенсоров основан на зависимости емкости конденсатора от расстояния между обкладками. Под воздействием внешней силы расстояние между обкладками чувствительного элемента изменяется, что приводит к изменению емкости, которое, в свою очередь, фиксируется измерительной схемой датчика. Емкость конденсатора зависит от площади его обкладок, а т.к. МЕМС сенсоры в большинстве своем имеют микрометрические размеры, величина емкости их чувствительных элементов не привышает единиц пикофарад.
Содержание работы
1. Принцип действия емкостных сенсоров…………………………………………………………………Стр.3
2. Емкостные датчики давления………………………………………………………………………………….Стр.4
3.Емкостные датчики ускорения (акселерометры)…………………………………………………….Стр.6
4.Емкостные гироскопы……………………………………………………………………………………………….Стр.8
5. Технология изготовления емкостных сеносоров давления…………………………………...Стр.12
Список литературы……………………………………………………………………………………………………….Стр.15