Влияние неравновесных процессов на формирование силицидных слоев

Важнейшим фактором, обеспечивающим необходимую надежность работы изделий с покрытиями, является стабильность силицидов, при этом при формировании силицидов под стабильностью понимают равномерность слоя на всей обрабатываемой поверхности и воспроизводимость результатов силицирования, а при эксплуатации – максимально длительное сохранение их фазового состава и структуры.