Наноиндентирование

Стремительное развитие нанотехнологий приводит к непрерывному уменьшению характерных размеров электронных и микромеханических компонентов (мембран, струн, осцилляторов), сенсоров, актуаторов, манипуляторов, гибридных микро-/наноэлектромеханических систем (МЭМС/НЭМС), микророботов, пленочных покрытий и других продуктов наноиндустрии. Из общих соображений и накопленных экспериментальных данных вытекает, что уменьшение характерных размеров объекта или элементов его структуры до R*≤1 мкм (хотя бы в одном из трех измерений) влечет существенное изменение его механических свойств.